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辉光放电质谱法在高纯碳化硅原料及制品的微量杂质成分测定中的应用

作者:郑翰1相宇博1曹会彦1石会营1,2龚剑锋1,2吴吉光1马昭阳1

作者单位:1. 中钢集团洛阳耐火材料研究院有限公司先进耐火材料国家重点实验室2. 中钢宁夏耐研滨河新材料有限公司

刊名:耐火与石灰

ISSN:1673-7792

出版年:2024-05-30

卷:49

期:3

起页:15-19

止页:

分类号:TQ163.4;O657.63

语种:中文

关键词:辉光放电质谱法;碳化硅;无烟煤;石油焦;

内容简介

将辉光放电质谱法(GDMS)用于高纯碳化硅原料和制品中微量杂质成分的检测,结果发现:1)GDMS法比化学分析法对Fe、Al杂质检出限更低,含量的检测结果更准确,检测精密度更高;2)无烟煤及石油焦作为碳源制备的碳化硅均含有较多的Fe、Al杂质,无烟煤碳化硅中含Ca元素较多,石油焦碳化硅中含V元素也较多。碳化硅颗粒研磨成微粉过程会引入Fe、Cr、Mn、Ti等杂质;3)Al元素在SiC中多以Al2O3、AlN存在,酸碱清洗、除杂过程很难将其除去,用GB/T 3045—2017化学分析法对Al元素的检测结果会严重偏低。

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